Le Fraunhofer CNT et Tokyo Electron définissent des méthodes de test et d’essai conjointes

 

Le Centre Fraunhofer pour les technologies nanoélectroniques (CNT) à Dresde (Saxe) et l’équipementier Tokyo Electron Limited (TEL) élargissent leur coopération. Afin de répondre aux exigences de plus en plus fines concernant la mesure de la qualité et de la précision du positionnement des plaquettes de silicium, l’Institut a acquis une nouvelle machine de test co-élaborée et fournie par TEL. Dans le cadre d’un accord d’évaluation, un autre système pour les méthodes de test et de caractérisation sera développé et testé.

Le but des recherches menées avec TEL est d’améliorer la précision de contact des transistors sur une large plage de température. « A titre d’exemple, dans le secteur automobile, nous avons développé un système de caractérisation à des températures allant de -55 ° C à + 200 ° C », a déclaré Volkhard Beyer, chef de la zone de compétence « Périphériques et Intégration » au Fraunhofer CNT.

Le défi à relever dans le test des wafers concerne les plots de contact très faible. En effet, les futures générations de puces sont destinées à intégrer des plots de connexion aussi faibles que possible, puisque la surface des circuits intégrés représente un facteur de coût important dans le développement des nouveaux circuits en trois dimensions. Par conséquent, une nouvelle division des contacts et des plots de test doit être faite.

Dans cette optique, les innovations présentées doivent permettre de poursuivre la détection précoce des puces défectueuses, à des dimensions nanométriques et des intensités réduites.

 

Pour en savoir plus, contacts :

Page du Centre Fraunhofer pour les technologies nanoélectroniques : http://www.cnt.fraunhofer.de

 

Sources :

« Fraunhofer CNT und Tokyo Electron verbessern gemeinsam Mess- und Testverfahren », communiqué du cluster de pointe Silicon Saxony – 14/12/2011 – http://redirectix.bulletins-electroniques.com/F2st4

 

Rédacteurs :

Charles Collet, charles.collet@diplomatie.gouv.fr – https://www.science-allemagne.fr